ペロブスカイト製造用ハイブリッド化学蒸着（HCVD）システム (No. 0068, 0089, 0182)

概要

太陽電池などの半導体デバイスに使用される高品質なペロブスカイト層を迅速に製造する新しいHCVDシステム。

ペロブスカイトの世界市場規模は4億5000万米ドル以上と大きく、年率30.8%で成長すると予想されています。ペロブスカイトは、太陽電池、LED照明、ディスプレイ画面、メモリデバイス（RAM）、レーザー、バッテリー、光検出器など、幅広い用途が期待され、材料研究の最前線にある注目素材です。しかし、現在のCVD（化学蒸着）法は製造に時間がかかり（数時間必要）、生産量の拡大にはネックとなっています。ヤビン・チー教授率いる研究者グループが開発した本技術は、HCVD法を用いペロブスカイト関連製品の製造時間を大幅に短縮することが可能です。

応用

• 太陽電池
• バッテリー
• 半導体デバイス（LED、メモリ、フォトディテクタ、レーザー）

利点

• 迅速な生産（成膜時間10分未満）
• 高品質・均一な膜（22.4cm²のセルで電力変換効率12.3%を実現）
• ヒステリシスを抑制